18
干涉膜厚仪是一种基于光学干涉现象进行测量薄膜厚度的仪器
干涉膜厚仪是一种通过光学干涉原理来测量材料表面干涉膜厚度的仪器设备。具体原理是采用光波在空气和待测物质表面发生反射时所产生的干涉现象，通过监测光波的干涉程度，就可以得到待测物质表面的膜厚度。
干涉膜厚仪基于光学干涉现象进行测量。当一束光照射到薄膜上时，部分光在薄膜表面反射，部分光透过薄膜并在底面反射回来，两束光相遇时产生干涉现象。由于薄膜的折射率不同，两束光在薄膜中行进的路径长也不同，因此会产生相位差，这个相位差就决定了干涉的强度。通过分析干涉图案或干涉条纹，可以计算出薄膜的厚度。
一般来说，干涉膜厚仪主要由光源、分光器、反射器以及检测系统等组成。其中，光源可以是白炽灯或者激光，分光器则可以将光源分为两条不同的路径，一条是参考光路，另一条是待测光路。反射器则将待测物质的反射光聚焦到相应的检测器上，这样就可以完成对干涉膜厚度的测量。
干涉膜厚仪通常由以下几个部分组成：
光源：提供稳定的光束，通常采用激光、LED等作为光源。
干涉仪：用于形成干涉图样。
探测器：用于接收干涉光，通常为光电探测器。
数据处理单元：对探测器输出信号进行转换和处理的电子单元。
显示器：将膜厚结果显示给用户。
在使用干涉膜厚仪之前需要进行设备的校准，校准的目的是确定不同香型的反射率值以及准确的光程差(即参考光路和待测光路的光程差值)。
使用干涉膜厚仪时，需要先将待测物质放在仪器的样品架上，并选择对应的波长和功率，设定测量程序，然后启动测量程序，待测量完成后，可以直接读取测量结果。
干涉膜厚仪作为一种常用的测量仪器，可以准确快速地测量物质表面干涉膜厚度，在今后的生产和科研工作中将会得到广泛的应用。