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ET4000系列 KOSAKA 臺(tái)階儀 | 薄膜測(cè)厚儀
參考價(jià) | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 美薩科技(蘇州)有限公司
- 品牌 KOSAKA/小坂研究所
- 型號(hào) ET4000系列
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/26 10:45:04
- 訪問(wèn)次數(shù) 39
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組裝工具,科學(xué)儀器,分析儀器,小型設(shè)備,工業(yè)設(shè)備,防靜電器材,半導(dǎo)體泵,半導(dǎo)體流量計(jì)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-20萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車(chē)及零部件 |
KOSAKA 臺(tái)階儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
KOSAKA 臺(tái)階儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
● 高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤(pán)等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測(cè)量
臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
---|---|
重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
測(cè)定范圍 | Z:100um X:100~305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
測(cè)定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體,光伏/太陽(yáng)能,光電子,化合物半導(dǎo)體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺(tái)階儀測(cè)量薄膜厚度,臺(tái)階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測(cè)量方面。其高精度,高重復(fù)性,自動(dòng)探索樣品表面
相關(guān)分類(lèi)
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