ULVAC愛(ài)發(fā)科LS600A-L螺桿式干式真空泵

ULVAC愛(ài)發(fā)科LS600A-L螺桿式干式真空泵

• 在接近大氣壓時(shí)的抽速可達(dá) 80 m³ /h，與傳統(tǒng)真空泵相比，抽氣時(shí)間可縮短約 20%。

• 標(biāo)配的專用消音器也解決了干式真空泵固有的噪音問(wèn)題。 極限壓力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在運(yùn)行過(guò)程中也不明顯。 (*1)

• C 規(guī)格中標(biāo)配的 ECO-SHOCK 技術(shù)是 ULVAC 專有的節(jié)能技術(shù)。 極限壓力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

• “Model：LS” 不需要軸封氣體。 在主要排放氮?dú)夂涂諝獾那鍧嵐に囍?，可以降低運(yùn)行成本。 (*3)

• 對(duì)于想要進(jìn)一步提高抽速的用戶，我們建議使用機(jī)械增壓泵。 120~ 通過(guò)組合1200 米³/h 是可訪問(wèn)的。

(*1) LS120A-C
時(shí) （*2） C 型
（*3） L 規(guī)格也可流吹掃氣體

C 規(guī)格：清潔工藝 （LS***A-C） 特點(diǎn)
：內(nèi)置 ECO-SHOCK 的低功耗型
應(yīng)用：用于清潔排氣和_N2 排氣、濺射、氣相沉積、粘合、負(fù)載鎖定室、TMP 輔助等。

L 規(guī)格： 輕工藝 （LS***A-L） 特點(diǎn)
： 具有表面處理和吹掃功能的
輕工藝類型 應(yīng)用： 用于水蒸氣和揮發(fā)性化學(xué)廢氣等輕工藝、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)應(yīng)用等。