ULVAC愛(ài)發(fā)科 LR180  羅茨干式真空泵 

ULVAC愛(ài)發(fā)科 LR180  羅茨干式真空泵 

有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低

高達(dá) 80%（與本公司相比），

還具有抑制干泵發(fā)熱的作用，可降低空調(diào)設(shè)備的功耗。

* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。

提高干泵的性能提高極限壓力性能降低

排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運(yùn)行時(shí)間不超過(guò)

1000 Pa 的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)

高效率

*可安裝在排氣口抽真空沒(méi)有問(wèn)題的干泵上。

易于安裝

用

干式真空泵用于抽空空氣、氮?dú)夂蜌鍤獾榷栊詺怏w

用于濺射制備室和取出室的干式真空泵

• 真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

• 各種沉積設(shè)備的制備室和取出室的排氣

• 一般工業(yè)應(yīng)用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

• 真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣

*1 工頻：60Hz
*2 功耗為極限壓力下的
代表值*3 包括
ECO-SHOCK 功耗*4 當(dāng)密封氣體和氣體上升的流速為 0 Pa·m3/s 時(shí)。 這取決于密封氣體的流速和氣體上升。