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国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜

具体成交价以合同协议为准

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深圳市新玛科技有限公司致力于电子测试测量领域为客户提供的测试和高效的解决方案和全面的系统服务,提供通用测试产品,示波器、逻辑分析仪、信号源、交流、直流电源、数据采集器、交流、直流电子负载仪和频谱分析仪、安规测试、 电能质量分析仪以及数字万用表、功率分析仪、热成像仪、绝缘电阻测试仪。包括全套电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案,专业提供电磁兼容测试系统,电磁干扰EMI抗干扰EMS诊断系统,并提供专家级的技术和咨询服务。为各个工业领域提供创新服务模式涵盖测试仪器销售、 计量校准、维修维护以及面向企业级客户端的系统集成服务,产品覆盖通信、工业电子制造、新能源、微电子、 航空航天,科研院所大学等行业, 我们严格遵循以合格的产品去服务于客户,帮助客户选择适合的解决方案。

随着中国市场越来越多的进口设备进入中国在中国每年有数量众多的技术*,价格昂贵的设备因为没有合理的配备而闲置,对于每一个面对竞争的企业来说,这种浪费是致命的,我们认为我们必须了解客户的需求,将行业内众多成熟的方案帮助中小型技术企业客户实现合理的配置同时提高产品的稳定性和可靠性,并降低产品开发成本和生产成本。

新玛通过与Agilent、Fluke、Tektronix、Pacific、HIOKI、Yokogawa、Rohde-schwarz等厂商的合作,为客户提供产品应用解决方案、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。
      新玛通过与业务伙伴的紧密合作,凭借便捷的进货渠道和服务网络,为客户提供专业的产品选型、技术支持、现场测试等快捷的本地化服务,成为电子测试领域的综合服务商。


示波器,电子负载,热像仪,逻辑分析仪,频谱分析仪,数据采集器,安规综合测试仪,交直流电源,电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案,

产地类别 国产 价格区间 面议
应用领域 能源,电子/电池,电气 图像采集速度 10 ns/pixel,2*100 M pixel/s
加速电压 100 V~6 kV(减速模式) ; 6 kV~30 kV(非减速模式) 分辨率 1.3nm@3kV,SE;1.5nm@1kV,SE,0.9nm@30kV,STEM
视场大小 最大视场1*1 mm2,高分辨微畸变视场64*64 um2 样品台精度 重复定位精度:X ±0.6 um;Y ±0.3 um

国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了超快的数据采集和成像速度,同时保证了纳米级分辨率。

国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

国仪量子HEM6000高速扫描电子显微镜

产品特点

高速扫描驱动器

驻点时间10 ns/pixel,

最快采集速度2*100 M pixel/s

电子过滤系统

SE/BSE信号自由切换,

信号混合比例可调

全静电高速偏转系统

可实现高分辨大场模式,

4 nm像素点最大视场达64*64 um2

样品台减速技术

降低入射电子落点电压,

同时提高回收电子的收集效率

浸没式电磁复合物镜

物镜磁场浸没样品

实现了低像差高分辨率

产品优势

1、高速自动化

全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

2、大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变

3、低压高分辨

样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率

产品参数

关键参数分辨率1.3nm@3 kV,SE ; 1.5nm@1 kV,SE
1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
0.9nm@30kV,STEM
加速电压100 V~6 kV(减速模式)
6 kV~30 kV(非减速模式)
放大倍率66~1,000,000x
电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪
物镜类型浸没式电磁复合物镜
偏转系统静电偏转器
样品装载系统真空系统全自动控制,无油真空系统
样品监控样品仓监控水平摄像头; 换样仓监控垂直摄像头
样品最大尺寸直径4英寸
样品台类型电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台)
行程

X、Y轴:110mm;

Z轴:16mm;

重复定位精度

X轴:±0.6μm;

Y轴:±0.3μm;

换样方式全自动控制
换样时间<15 min
换样仓清洗全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理驻点时间10 ns/pixel
图像采集速度2*100 M pixel/s
图像大小24K*24K
探测器和扩展标配镜筒内混合电子探测器
选配低角度背散射电子探测器
镜筒内高角度背散射电子探测器

明场透射电子探测器

高角/中角/底角暗场透射电子探测器
压电驱动样品台
高分辨大场模式
样品仓等离子清洗系统
6英寸样品装载系统
主动减震台
AI降噪;大图拼接;三维重构
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

应用领域

半导体工业

生命科学

材料科学

地质科学





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