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SEM5000X超高分辨场发射扫描电子显微镜

具体成交价以合同协议为准

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深圳市新玛科技有限公司致力于电子测试测量领域为客户提供的测试和高效的解决方案和全面的系统服务,提供通用测试产品,示波器、逻辑分析仪、信号源、交流、直流电源、数据采集器、交流、直流电子负载仪和频谱分析仪、安规测试、 电能质量分析仪以及数字万用表、功率分析仪、热成像仪、绝缘电阻测试仪。包括全套电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案,专业提供电磁兼容测试系统,电磁干扰EMI抗干扰EMS诊断系统,并提供专家级的技术和咨询服务。为各个工业领域提供创新服务模式涵盖测试仪器销售、 计量校准、维修维护以及面向企业级客户端的系统集成服务,产品覆盖通信、工业电子制造、新能源、微电子、 航空航天,科研院所大学等行业, 我们严格遵循以合格的产品去服务于客户,帮助客户选择适合的解决方案。

随着中国市场越来越多的进口设备进入中国在中国每年有数量众多的技术*,价格昂贵的设备因为没有合理的配备而闲置,对于每一个面对竞争的企业来说,这种浪费是致命的,我们认为我们必须了解客户的需求,将行业内众多成熟的方案帮助中小型技术企业客户实现合理的配置同时提高产品的稳定性和可靠性,并降低产品开发成本和生产成本。

新玛通过与Agilent、Fluke、Tektronix、Pacific、HIOKI、Yokogawa、Rohde-schwarz等厂商的合作,为客户提供产品应用解决方案、计量校准、维修维护和科技资产外包管理等综合服务。
      新玛通过与业务伙伴的紧密合作,凭借便捷的进货渠道和服务网络,为客户提供专业的产品选型、技术支持、现场测试等快捷的本地化服务,成为电子测试领域的综合服务商。


示波器,电子负载,热像仪,逻辑分析仪,频谱分析仪,数据采集器,安规综合测试仪,交直流电源,电磁兼容EMC测试和EMC整改的解决方案,

产地类别 国产 价格区间 面议
仪器种类 场发射 应用领域 能源,电子/电池,电气
加速电压 20V~30 kV 放大倍率 1 ~2,500,000x
电子枪类型 肖特基场发射电子枪

SEM5000X超高分辨场发射扫描电子显微镜是一款超高分辨率场发射扫描电镜,电子光学镜筒设计优化,综合像差降低了 30%,从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性,可在优良纳米结构和纳米材料的研究、芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。

SEM5000X超高分辨场发射扫描电子显微镜

产品优势

超高分辨率成像,达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术,挑战极限样品拍摄场景

高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计,可搭配整体罩壳设计,极大减弱环境对极限分辨率的影响

最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓,满足半导体和科研应用需求

产品参数

关键参数分辨率0.6 nm @ 15 kV,SE
1.0 nm @ 1 kV,SE
加速电压20 V ~ 30 kV
放大倍率1 ~ 2,500,000 x
电子枪类型肖特基场发射电子枪
样品室摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
样品台行程

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm

T: -10°~+70°,R: 360°

探测器和扩展标配镜筒内电子探测器(Inlens)
仓室内电子探测器(ETD)
选配

插入式背散射电子探测器(BSED)

(五分割,可选配)

插入式扫描透射探测器(STEM)
低真空二次电子探测器(LVD)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓(4寸和8寸可?。?/td>
轨迹球&旋钮板
双减速技术(Duo-Dec)
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航,轨迹球(选配)
图像记录TIFF、JPG、PNG、BMP等
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散




































应用案例

介孔二氧化硅/1 kV(Duo-Dec)/lnlens
阳极氧化铝板 /10 kV/Inlens
芯片/5 kV/BSED-COMP
肾脏切片 /5 kV/BSED-COMP
泡沫镍/2 kV/ETD-SE
蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE
金颗粒/1 kV/Inlens
光刻胶/2 kV/ETD-SE
磁性粉末/10 kV/Inlens
二氧化硅球/3 kV/ETD-SE
催化剂/1 kV/ETD-SE
波导/1 kV/ETD-SE





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