PVD备件清洗机是一款专用于物理气相沉积（PVD）工艺设备关键部件清洗的自动化设备，旨在高效去除工件表面的油污、氧化物、颗粒及镀膜残留，确保PVD工艺的稳定性和镀膜质量。以下是其核心特点与功能概述：

核心功能

多工艺组合清洗
集成超声波清洗、喷淋冲洗、浸泡、慢拉脱水、热风烘干等工艺，可针对不同污染物（如有机残留、金属微粒、氧化层）实现分层处理。例如，先通过酸性或碱性溶液浸泡溶解顽固杂质，再利用超声波空化效应剥离微小颗粒，最后通过纯水喷淋和慢提拉技术减少水痕残留

自动化与智能化控制
采用PLC程序控制，支持触摸屏操作，可预设多条清洗流程并自动切换。部分机型配备机械手上下料系统，实现全程无人化作业，提升效率并降低人为污染风险。

环保与节能设计
使用水基清洗剂或环保型溶剂，减少化学污染。设备采用全封闭式结构，配备废气抽排系统和正压送风装置，防止挥发性气体外泄，同时避免外界粉尘二次污染。

高精度清洗效果
通过超声频率调节（如40kHz高频清洗）和喷淋压力控制，可清除微米级颗粒，满足PVD腔体、靶材、载具等精密部件的洁净度要求，确保镀膜均匀性。

技术亮点

兼容多材质：适用于金属、陶瓷、玻璃等PVD备件，支持定制化清洗液配方。

温度与时间精准调控：加热系统可设定清洗温度，适应不同工艺需求。

安全防护：配备紧急?；⒔橹市孤┍ň裙δ?，保障操作安全。

应用场景

广泛应用于半导体、光学、五金工具、精密模具等行业，适用于PVD镀膜前的腔体清洁、靶材预处理、载板维护等场景，尤其适合大批量连续生产环境135。