CY-MSZ180-I-DC-Q 小型台式单靶磁控溅射镀膜仪
参考价 | ¥ 60000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-MSZ180-I-DC-Q
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/20 16:44:10
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 地矿,能源,建材/家具,电子/电池,钢铁/金属 |
本设备为桌面型石英腔体单靶磁控溅射镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用石英真空腔体,镀膜过程全向可视,便于实验的观察记录,腔体设计开启方便,易于清理,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用??榛杓?,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手
技术参数:
产品名称 | 小型台式单靶磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ180-I-DC-Q | |
样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
震动频率 | 20Hz-20000Hz | |
磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 200mm |
观察窗口 | 全向透明 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 上盖拆卸式 | |
真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa | |
抽气接口 | KF40 | |
排气接口 | KF16 | |
系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 分子泵抽速600L/s,前级泵抽速1.1L/s | |
电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
输出功率 | 300W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
整机尺寸 | 550mm X 350mm X1200mm |
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