样品台

外形尺寸

Φ360mm

可调转速

1-20rpm可调

磁控靶枪

靶材平面

圆形平面靶

溅射真空

0.1Pa～3Pa

靶材直径

100～101.6mm

靶材厚度

3mm

绝缘电压

>2000V

电缆规格

SL-16

靶头温度

≦65℃

真空腔体

内壁处理

电解抛光

腔体尺寸

Φ500mm × 500mm

腔体材料

304不锈钢

观察窗口

石英窗口，直径φ100mm

开启方式

侧面开启

气体控制

流量控制

质量流量计，量程0～100SCCM

气体种类

可选氩气、氮气、氧气等多种气体

调节阀类型

电磁调节阀

调节阀静止状态

常闭

测量线性度

±1.5%F.S

测量重复精度

±0.2%F.S

测量响应时间

≤8秒（T95）

工作压差范围

0.3MPa

阀体耐压

3MPa

工作环境温度

（5～45）℃

阀体材料

不锈钢316L

阀体漏率

1×10-8Pa.m3/s

管道接头

1/4″卡套接头

输入输出信号

0～5V

供电电源

±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）

外形尺寸mm

130（宽）×102（高）×28（厚）

通讯接口

RS485 MODBUS协议

直流电源

电源功率

1500W

膜厚测量

电源要求

DC:5V（±10%） *大电流 400mA

分辨率

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /测量(铝)

测量精度

±0.5%厚度+1计数

测量周期

100mS～1S/次（可设置）

测量范围

500,000 ? (铝)

晶体频率

6MHz

通讯接口

 RS-232/485串行接口

显示位数

8位LED显示

分子泵

分子泵抽速

1200L/S

额定转速

24000rpm

振动值

≦0.1um

启动时间

5min

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7min

冷却方式

水冷+风冷

冷却水温度

≦37℃

冷却水流速

1L/min

安装方向

垂直±5°

抽气接口

150CF

排气接口

KF40

前级泵

抽气速率

VRD-16

极限真空

1Pa

供电电源

AC:220V/50Hz

电机功率

400W

噪音

≦56db

抽气接口

KF40

排气接口

KF25

阀门

闸板阀

真空腔体与分子泵间装有闸板阀

切断阀

分子泵与前级之间装有切断阀

旁抽阀

真空腔体与前级之间装有旁抽阀

放气阀

真空腔体上装有电磁放气阀

整机极限真空

≦5×10-4Pa

测试靶材

直径4英寸厚度3mm的镍靶材1块