CY-EVZ270-I-HP-SS 热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪
参考价 | ¥ 50000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-EVZ270-I-HP-SS
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/18 13:10:04
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 5万-10万 |
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应用领域 | 地矿,能源,建材/家具,电子/电池,钢铁/金属 |
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体,镀膜过程可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-4Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围:
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪适用于扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。
热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪技术参数:
产品名称 | 热蒸发与等离子镀膜复合型镀膜仪 | |
产品型号 | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
样品台 | 位 置 | 顶部设置 |
外形尺寸 | 直径φ150mm | |
转 速 | 0-20 rpm可调 | |
可调温度 | ≦500℃ | |
热蒸发源 | 钨舟 | |
蒸发电源 | 蒸发源配一组独立电源 | |
溅射电源 | 直流电源 | |
溅射靶 | 数量2”×1 | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ273mm×H300mm |
观察窗口 | 直径φ80mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚测量 | 晶体膜厚测量仪(也可选膜厚控制仪) | |
真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵,气体抽速1.1L/S |
次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速60L/S | |
真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
系统真空 | 5×10-4Pa | |
控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
其他参数 | 供电电源 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
整机功率 | 7KW | |
整机重量 | 120kg |