CY-EVZ195-I-H-SS 多源高真空蒸发镀膜仪
参考价 | ¥ 250000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-EVZ195-I-H-SS
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/11 11:37:22
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 5万-10万 |
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应用领域 | 化工,地矿,能源,建材/家具,钢铁/金属 |
简单介绍:
本设备为多源高真空蒸发镀膜仪,设备采用前开门式真空腔体设计,腔体空间大,可拓展性强,能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台,可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降,所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统,由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成,可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境;真空系统内含有完善的气动阀系统,用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不?;》叛?、停机等操作。详情介绍:
本设备的蒸发源共两组,采取钨舟蒸发源,水冷式铜电极,可*大支持300A的大电流,加热温度*高可达1800℃,可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计,腔体和电控部分左右分置,实现了水电分离,有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计,真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作,通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作,在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。
技术参数:
多源高真空蒸发镀膜仪 | ||
型号 | CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS | |
样品台 | 尺寸 | *大支持φ150mm样品 |
高度 | 上下70mm可调 | |
蒸发源 | 数量 | 钨舟x2 |
真空腔体
| 腔体尺寸 | φ325x600mm |
观察窗口 | 前置φ100mm | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 前开门式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |
真空系统
| 前级泵 | 双极旋片泵 |
抽气接口 | KF16 | |
次级泵 | 涡轮分子泵 | |
抽气接口 | CF160 | |
真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
排气速率 | 机械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
控制系统 | PLC自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |
其他
| 供电电压 | AC380V,50Hz |
整机尺寸 | 1000mm X900mm X 1500mm | |
整机重量 | 350kg | |
整机功率 | 5kW |