CY-MSZ194-I-DC-SS 桌面型单靶直流磁控溅射镀膜仪
参考价 | ¥ 120000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-MSZ194-I-DC-SS
- 产地 郑州
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/3 11:54:43
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 5万-10万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 能源,电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气 | 真空腔体 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
样品台尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶,可调角度 |
靶材尺寸 | 直径2英寸,厚度≦3mm, | 溅射功率 | 溅射功率 |
本设备为单靶磁控镀膜仪,可用于金属薄膜的制备,在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用,也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用高真空不锈钢腔体,腔体设置带挡板的石英观察窗,便于实验的观察记录;腔体设计真空性能优良,造型小巧,十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台,可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用??榛杓?,操作逻辑简单,操作界面直观,利于上手。
磁控溅射镀膜仪技术参数:
产品名称 | 桌面型不锈钢腔体单靶直流磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ194-I-DC-SS | |
样品台 | 外形尺寸 | φ100mm |
加热温度 | ≦500℃ | |
可调转速 | ≦20rpm | |
磁控靶枪 | 配一支两英寸磁控靶,靶材尺寸:直径50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔体 | 腔体尺寸 | φ194mm X 263mm |
观察窗口 | φ50mm | |
腔体材料 | 304不锈钢 | |
开启方式 | 上盖开启式 | |
真空系统 | 前级泵 | 低噪音双极旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速涡轮分子泵 | |
真空测量 | 复合真空计,量程:10-5~105Pa | |
抽气接口 | KF16 | |
抽气接口 | KF40 | |
排气接口 | KF16 | |
系统真空 | 1.0×10-4Pa | |
供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 分子泵抽速60L/s,前级泵抽速1.1L/s | |
电源配置 | 电源数量 | 直流电源一套 |
输出功率 | 直流电源500W | |
其他参数 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机功率 | 2kW | |
重量 | 80kg | |
整机尺寸 | 550mm X 450mm X750mm |
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