CY-MSZ254-II-DCDC-SS 桌面型磁控溅射镀膜仪上置靶枪
参考价 | ¥ 120000 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 CY-MSZ254-II-DCDC-SS
- 产地 郑州
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/12/3 10:37:33
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 5万-10万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 能源,电子/电池,钢铁/金属,汽车及零部件,电气 | 真空腔体 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
样品台尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶,可调角度 |
靶材尺寸 | 直径2英寸,厚度≦3mm, | 溅射功率 | 溅射功率 |
磁控溅射镀膜仪是一种的物**相沉积设备,广泛应用于半导体、光电子、显示技术和表面工程等领域。该设备采用磁控溅射技术,通过磁场增强离子化效率,从而实现高质量、均匀的薄膜沉积。
磁控溅射镀膜仪产品特点:
? 高效镀膜:采用磁控溅射技术,沉积速率高,薄膜均匀性好。
? 多功能应用:支持多种靶材和基材,适用于不同材料的薄膜沉积。
? 智能控制:配备的控制系统,实现精准的工艺参数控制。
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? 环境友好:低能耗设计,减少对环境的影响。
磁控溅射镀膜仪技术参数:
参数名称 | 参数说明 | |
产品名称 | 桌面型前开门双靶磁控溅射镀膜仪 | |
产品型号 | CY-MSZ254-II-DCDC-SS | |
真空腔 | 腔体材质 | 304不锈钢焊接而成,表面做抛光处理 |
取放模式 | 前开门方式取放样品和靶材 | |
观察窗 | 直径100mm真空窗口,配有磁力挡板,防止污染 | |
样品台 | 样品尺寸 | 直径≦100mm的平面样品均可 |
旋转速度 | 不旋转和旋转型(0-30RPM)可选 | |
加热温度 | RT-500℃;RT-800℃;RT-1000℃可选 | |
磁控靶 | 靶枪类型 | 普通永磁靶,可调角度 |
靶材尺寸 | 直径2英寸,厚度≦3mm, | |
溅射功率 | 300W | |
溅射方式 | 直流溅射 | |
工作真空 | 0.3-3Pa | |
电源 | 直流电源 300W *2 | |
溅射气体 | 高纯氩气,纯度99.99% | |
真空测量 | 复合真空计,电阻规+电离规,测量范围:105-10-5Pa | |
真空获取 | 前级泵 | 抽速 1.1L/S |
分子泵 | 抽速 600L/S | |
膜厚测量 | 通常配CYKY膜厚测量仪 | |
也可选配进口品牌,价格额外计算 | ||
外形尺寸 | 550mm*350mm*450mm | |
包装尺寸 | 770×720*730mm | |
包装重量 | 110 KG |
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