技术参数：

1.主要应用：表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、去除表面有机物、疏水实验、镀膜前处理等。

2.采用美国霍尼韦尔真空压力传感器；

3.采用美国气体浮子流量计，流量显示准确；

4.双路气体控制方式；

5.舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质；

6.采用电容式等离子激发，内置激发电极板；

7.手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换；

8.触摸按键+4.3寸大屏幕彩色液晶显示屏设计；

9.智能程序化控制，可编程自动完成整个实验过程；

10.无需任何耗材，无需特殊进行维护；

11.舱体尺寸:300x100（直径）mm；

12.舱体容积: 2.6L；

13.射频频率: 40KHz；

14.射频功率:10-200W无极可调；

15．电源:220V 50/60hz；

16.电流:1.2A；

17.时间设定:0-99分59秒；

18.气体稳定时间: 1分钟；

19.真空度:100pa以内；

20.等离子激发方式:电容式；

21.外形尺寸:460X580X220mm(L*W*H)

22整机重量:15Kg；

23.双级旋片式真空泵:一体式缸体，大油窗，防返油设计。抽气速率：7.2m3/h/小时；极限压力2X10ˉ1Pa，电机功率370W，加油量330ml。进排气口连接口KF 16/25法兰。