VPG 200 / VPG 400 有掩膜光刻机

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掩模制造

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

1. 产品概述：

VPG 200 / VPG 400 体积图形发生器是光刻系统，为 i-line 光刻胶的多用途掩模制造而设计。它们支持所有标准的中小型面罩尺寸，大尺寸为 410 x 410 mm++2.

系统特点
光源	355 nm 的高功率 DPSS 激光器
大基板尺寸	9 英寸 x 9 英寸/17 英寸 x 17 英寸
基板厚度	0 至 12 mm （可根据要求提供其他厚度）
大曝光面积	205 x 205 毫米2/ 410 x 410 毫米2
自动对焦	实时自动对焦系统（光学和气动）
自动对焦补偿范围	高达 80 μm
流量箱	（闭环）温控环境试验箱
对准	用于测量和对准的相机系统和软件包
其他功能和选项	2D载物台贴图和数据、Mura校正、边缘检测器、多种数据输入格式（DXF、CIF、GDSII、Gerber等）、可选的自动掩模处理、可选的Zerodur®载物台和特殊卡盘

系统尺寸
	系统 / 电子机架
宽度 [mm]	2605 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3550 / 180

安装要求
电气	400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相
压缩空气	6 - 10 巴