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iTops PVD ITO 濺射系統(tǒng)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

1. 產(chǎn)品概述

iTops PVD ITO 濺射系統(tǒng),加熱能力、精確的溫度控制、優(yōu)異的真空能力。

2. 設(shè)備用途/原理

iTops PVD ITO 濺射系統(tǒng)加熱能力、精確的溫度控制、優(yōu)異的真空能力,高晶體質(zhì)量的氮化鋁薄膜及優(yōu)異的薄膜厚度均勻性占地面積小,結(jié)構(gòu)簡單,操作靈活,維修方便,設(shè)備穩(wěn)定,稼動率高,運營成本低

3. 設(shè)備特點

晶圓尺寸  2/4/6 英寸兼容。適用材料  氮化鋁。適用工藝  氮化鋁緩沖層濺射。適用域  化合物半導(dǎo)體。百科:?半導(dǎo)體濺射系統(tǒng)的原理主要是利用高能離子撞擊靶材,使靶材的原子或分子從表面逸出,并沉積在半導(dǎo)體基片上,形成一層薄膜。濺射技術(shù)可以分為多種類型,包括直流濺射、交流濺射、反應(yīng)濺射和磁控濺射等,不同類型的濺射技術(shù)適用于不同的應(yīng)用場景。例如,直流濺射適用于導(dǎo)電材料的鍍膜,而交流濺射則適用于導(dǎo)電性較差的材料。反應(yīng)濺射可以在濺射過程中引入反應(yīng)氣體,以形成特定的化合物薄膜。磁控濺射則通過加入磁場來控制電子的運動路徑,提高濺射效率和薄膜質(zhì)量。



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