全自動(dòng)離子濺射儀具有簡(jiǎn)單易用的交互設(shè)計(jì)
全自動(dòng)離子濺射儀簡(jiǎn)單易用的交互設(shè)計(jì):
1. 模塊化操作界面
分步提示:
屏幕顯示當(dāng)前步驟(如“正在抽真空”“開(kāi)始濺射”),并實(shí)時(shí)更新進(jìn)度條。
異常狀態(tài)自動(dòng)彈窗報(bào)警(如真空度不足、靶材耗盡),并提供解決方案提示。
參數(shù)互鎖保護(hù):
限制參數(shù)輸入范圍(如電流不超過(guò)靶材最大承受值),避免誤操作導(dǎo)致設(shè)備損壞。
2. 免維護(hù)設(shè)計(jì)
靶材更換便捷:
采用卡扣式或磁吸式靶材座,無(wú)需工具即可更換靶材。
靶材尺寸標(biāo)準(zhǔn)化,兼容常用規(guī)格。
清潔維護(hù)簡(jiǎn)化:
濺射腔室采用耐腐蝕材料,定期用清水或酒精擦拭即可。
可選配自動(dòng)清潔模式。
3. 安全與合規(guī)性
多重防護(hù)機(jī)制:
門禁保護(hù):艙門未關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)濺射,防止紫外線暴露。
過(guò)流保護(hù):電流超過(guò)設(shè)定值時(shí)自動(dòng)切斷電源,保護(hù)靶材和樣品。
符合標(biāo)準(zhǔn):
通過(guò)CE認(rèn)證,電氣安全性和EMC電磁兼容性符合國(guó)際要求。
全自動(dòng)離子濺射儀使用注意事項(xiàng):
1.靶材與樣品距離:
根據(jù)濺射速率需求調(diào)整靶材與樣品臺(tái)的距離,距離越近鍍膜速率越高。
2.氣體選擇:
惰性氣體用于金屬濺射,反應(yīng)性氣體可用于氧化物鍍膜。
3.冷卻系統(tǒng):
長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作時(shí)需檢查散熱系統(tǒng),避免靶材過(guò)熱變形。
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