产品名称

VTC-16-D 小型直流磁控等离子溅射仪

产品型号

VTC-16-D

主要特点

1 、特别为 SEM 样品镀导电性薄膜设计。

2、体积小巧，操作简单，容易上手。

3、拥有小型磁控靶头，可以镀金银铂等金属。

1、输入电源： 220V AC 50/60Hz

2、功率： 200W

3、输出电压： 500 VDC

技术参数

5、溅射时间： 0-120S 可调

6、溅射腔体

1）采用石英腔体，尺寸： 166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2）密封： 采用不锈钢平法兰的 O 形密封圈

7、溅射头&样品台

l）溅射头可安装靶材直径为 2 英寸， 厚度 0.1 - 2.5mm

2）溅射时间 1-120S 可调

3）仪器中安装有直径为 50mm 的不锈钢样品台， 其与溅射头之间距离 30-80mm 可调。

4）可选购加热型样品台，其加热温度可达 500℃

5）安装有一可手动操作的溅射挡板，可进行预溅射

6）制膜的直径可达:4 英寸（仅供参考，详情请点击）

8、真空系统

l）安装有 KF25 真空接口 2）数字真空压力表（Pa） 3）此系统可通入气体运行

4）< 1.0E-2 Torr    （采用机械泵）

5）< 1.0E-5 Torr  （采用涡旋分子泵）

9、进气

l）设备上配 1/4 英寸进气口，方便连接气瓶

2）设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气流

10、靶材

l）靶材尺寸要求： Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

2）设备标配为铜靶

11、产品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm