| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,电子/电池,综合 | 功率 | ≤1200W |
| 挡板类型 | 电控 | 真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
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通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属（金，银，铜，铬，镍等）和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
主要特点/优势：
★ 玻璃钟罩真空腔室，最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察；
★ 复合分子泵和直联旋片泵，大抽速准无油真空系统（分子泵抽速≥400L/S）；
★ 两组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★ 专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；
★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；
★ 衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；
★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀
★ 可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★ 7寸显示器定时定点调节电流，达到控制功率效果
★ 具有记忆储存功能，直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果
★ 配置了靶台挡板，可手动调节或自动调节挡板，及时遮挡样品，保证样品效果
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