台阶仪产品简介

KLA台阶仪

Zeta-300光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。Zeta-300继承了Zeta-20的功能，并增加了隔离选项以及处理更大样品的灵活性。该系统采用ZDot™技术和Multi-Mode（多模式）光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。

Zeta-300的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-300也是一种高级显微镜，可用于样品复检或自动缺陷检测。Zeta-300通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，适用于研发及生产环境。

主要应用

1. 台阶高度：纳米到毫米级的3D台阶高度；2. 纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度；3. 外形：3D翘曲和形状；4. 应力：2D薄膜应力；5. 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；6. 缺陷检查：捕获大于1μm的缺陷；7. 缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

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