一、电子制造业厂万级无尘车间特点：

周口无尘车间安装洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、无尘车间截面风速按设计或规范受控，另外该类无尘车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。文本标签：电子制造业厂万级无尘车间洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、无尘车间截面风速按设计或规范受控，另外该类无尘车间对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。   一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。

二、电子无尘车间清洁要求:

（1）清洁洁净室内墙体时，应使用洁净工程洁净室无尘布。

（2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂。

（3）使用已获批准的净化工程洁净室去污剂。

（4）每天都要检查无尘车间和装备间的垃圾箱，并及时清走。

（5）每块地板都要吸尘处理。并在“无尘车间清洁记录”表上标明工作完成情况。例如在哪结束从哪开始。

（6）清洁无尘净化工程洁净室的地面时，应先关闭净化系统，并使用无尘室拖把。

（7）在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的真空吸尘器。

（8）无尘室所有的门窗都需要清洁、保养。

（9）洁净室每天需吸尘，拖地；一周需擦一次墙面、门窗。

（10）无尘车间架空地板下也要吸尘及擦拭。

（11）电子无尘车间三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

（12）在洁净室工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

三、无尘车间的分类

（1）工业无尘车间

工业无尘车间以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

（2）生物无尘车间

生物无尘车间主要控制有生命微粒与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为：

A、一般生物洁净室：主要控制微生物（）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

B、生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）。

无尘车间的装修一般对环境卫生有一定要求，这也与行业特点有关。车间地面的出现为无尘车间的地面装饰提供了新的材料。 它具有清洗方便等许多特点，可以在很大程度上满足车间生产地面装饰的要求。 在车间使用环氧地坪需要无尘处理，这对于车间地面的应用具有重要意义。

无尘车间安装内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。

无尘车间安装内之生产制造设备注意之重点有三：

1.生产设备之选择、布置与保养：

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘车间安装外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘车间安装之各项规定，且负责应随侍在侧监工。

k.应有无尘车间安装工具组，但不得带出无尘车间安装外使用。

l.规划空间时若能临近无尘车间安装设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

2.生产设备之防尘措施：

a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。

d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

3.自动化与无尘化：

a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

b.建立管制项目如进入无尘车间安装人员的限定，无尘车间安装作业人员作业规则，无尘车间安装管理规则等，这些规则已在前面叙述，此处不再说明。

在无尘车间安装之维护管理方面，可分三部分加以说明：

1.建筑物之维护管理：

a.建筑物内定期检查清洁。

b.地板之清扫管理及损坏更新。

c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。

d.窗户及门之保养等。

2.环境测定与管理：

无尘车间安装内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。

3.防尘空调设备之维护管理：

a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须测量。

b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。

c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。

d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。

e.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。

f.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。

g.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

h.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

i.无尘车间安装停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘车间安装恢复稳定正常时再开始作业。

无尘车间安装内用品的管理

无尘车间安装内用品除了进出无尘车间安装用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、等，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。

洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。无尘车间安装用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应*塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny1），在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉之Viny1手套为佳。

洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘车间安装内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为2~3天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为无尘车间安装，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂（Epxoy）加工以防表面发尘。工作桌好有打洞，边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时，则要准备脚踏环。桌及椅子之脚好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。

芯片盒为放置芯片之用，材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗（Teflon）等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折迭式，材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎，车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者，且不得使用影印数据，若非万不得已须使用，则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸揉成一团，避免造成环境之污染。如表5所示为不同纸张材质发尘量之比较。普通黑板及粉笔当然不能在高无尘车间安装内使用，必要时可在更衣室等无尘车间安装较低等级的区域使用白板。无尘车间安装内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。

周口无尘车间安装真空吸尘器，其功能是在吸取无尘车间安装内地板上、下及设备上附着之尘?；蛞禾逡苑乐拐庑┏玖Ｖ俜裳铮源锏角褰嗟哪康?，由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响无尘车间安装之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之无尘车间安装均设有式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用式系统时，须注意排气旦之控制避免使无尘车间安装内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属无尘车间安装内，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的无尘车间安装中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。