扫描电子显微镜技术性能指标：

1        电子光学：

           1.1   发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）

           1.2   固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便

           1.3   加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计

           1.4   放大倍数：6× - 1000000×

           1.5   极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命

           1.6   电子束束流：可达到的数值不小于2μA，并连续可调

           1.7   使用工厂预对中灯丝更换方便

2        真空系统

           2.1   1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵

           2.2   高真空模式：＜1×10-5 Pa

           2.3   低真空模式：10 – 130 Pa

           2.4   环境真空模式：10 – 2600 Pa     

           2.5   高真空模式下的换样时间：≤150秒

           2.6   低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒

3        分辨率

           3.1   高真空模式下的分辨率

                    3.1.1   30 kV下3.0 nm (二次电子)

                    3.1.2   30 kV下4.0 nm (背散射电子)

                    3.1.3   3 kV下8.0 nm (二次电子)

        3.2   环境真空模式下的分辨率（以英文样本公布的参数为准，并作为验收指标）

                    3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次电子)

                    3.2.2    具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头

4        样品室

           4.1   样品室内径：不小于340 mm

           4.2   分析工作距离：10 mm

           4.3   样品室红外CCD相机：1个

           4.4   多可升级8个探测器或附件接口         

5        样品台

           5.1   类型：五轴马达台，全对中，同时保留五轴手动功能

           5.2   行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，（X/Y重复精度2μm）Z≥65 mm，旋转R=n×360o，倾斜T=-15o/+90o

           5.3   样品尺寸：可沿 X、 Y 轴*旋转时直径≥122 mm，大样品高度≥85mm

6        图像处理及系统控制

           6.1   *的6144×4096像素，可保存TIFF/BMP/JPEG格式

           6.2   单窗口或四窗口图像显示, 四活动窗口智能扫描技术

           6.3   实时或静态信号按彩色或按灰度等级混合, 256 帧平均或积分, 数字动画记录 (.avi格式), 直方图及图像测量软件

                 6.4   SmartSCAN™ 智能扫描技术,蒙太奇图像导航,

7        节能措施

           7.1   Energy Star认证的显示器和工作站

           7.2  无需冷却水和空压机

8    扫描电子显微镜软硬件配置系统

     8.1  深圳市天禧仪器自定义软件系统

     8.2  深圳市天禧仪器离子溅射仪

9        技术服务

9.1     提供该仪器的质量检验标准和验收方法

9.2     整机含第1年的免费保修服务，包含零配件和工时

9.3     安装调试与终验收卖方应派专家到用户场地进行安装调试，对用户操作人员现场进行使用和维护培训，培训和安装的时间不少于2天，内容包括仪器的原理、使用、日常维护及现场操作。