上海三研SYDC-500型浸渍提拉镀膜机

一.产品应用
    本产品主要用于溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。把洁净干燥的基片浸入溶液（溶胶）
中，通过预先设置的参数，将浸渍后的基片以一定速度垂直提拉起来。在基片上附着一层膜，
称为 “湿凝胶膜”，随着“湿凝胶膜”膜层中溶剂的挥发，膜层在基片上固化成为“干凝胶膜”。“干
凝胶膜”经过进一步的干燥及高温热处理便得到所需的纳米薄膜材料。膜层厚度由提拉速度，液
体浓度和液体粘度决定。
二.产品简介
    浸渍提拉镀膜机是专门为液相（特别是sol-gel 法）制备薄膜材料的研究工作而设计，对不
同液体通过浸渍提拉生长薄膜。提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数（多次多层镀膜）、
镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求，片状、块状、圆柱状等均可镀
膜。运行稳定、工作时液面无振动，可*提高实验精度与实验效率。
    适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。应用于科学研究、
产品生产。
三.产品特点
    1.采用伺服电机驱动，配合*的垂直提拉装置和程序控制系统，确保运行精度及稳定
性；伺服电机运转时的高精度、平滑性、无抖动等特点是步进电机不可比拟的。*
的垂直提拉装置具有精密度高、传动无间隙、运行平滑、耐腐蚀、免维护、使用寿命长等
特点。
    2.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置：下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、
镀膜次数、镀膜间隔时间，各参数均连续可调，精密控制。镀膜程序设定后，从下降到浸
渍，再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行。也可进入手动操作模式镀膜；
    3.采用箱体式设计，镀膜溶液及样品均置于密闭箱体内，避免外界环境（微风和灰尘）的干
扰；前门及侧面采用透明玻璃，便于观察镀膜过程；
    4.高、低速均运行平稳，镀膜时液面无振动，使膜层更均匀、无条纹。
    5.上下两端均安装有限位传感器，提拉或下降运行时，到限位处自动停止，避免提拉或下降
的超限运行。
    6.采用10 英寸触摸屏使控制更方便，运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜进程；
    7.标配3 套夹具夹持基片，更牢固更稳定。采用*设计的平口型夹具，两面均匀夹持样片，
不会夹坏样片。
四. 技术参数
    1.提拉速度范围：1～10000 μm/s，zui小分辨率1 μm/s；
    2.速度精度：-0.01%～+0.01%
    3.提拉行程：540mm (以实际为准) ；
    4.可镀膜基片尺寸：MIN 10×10 mm，MAX 500×500 mm，厚度 MAX 10mm。
    5.浸渍时间：1～3600 s，zui小分辨率1s；
    6.镀膜次数：1～200 次，zui少1 次；
    7.每次镀膜间隔时间：1～3600 s，zui小分辨率1s；
    8.电源：220V/50Hz

上海三研SYDC-500型浸渍提拉镀膜机