维意真空高真空多靶磁控溅射镀膜机支持定制

MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机

真空腔室：直径450?H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构；

真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可?。?；

极限真空：优于5?10-5Pa（经烘烤除气后）；

真空抽速：大气～8?10-4Pa≤30min；

升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；

磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；

溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任?。?/p>

质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加；

膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；

控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

维意真空高真空多靶磁控溅射镀膜机支持定制

MS-246小型多靶磁控溅射镀膜机

真空腔室：1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；

真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可?。?；

极限真空：优于8?10-5Pa（设备空载抽真空24h）；

真空抽速：大气～8?10-4Pa≤30min；

升降基片台：尺寸直径100mm，高度60～120mm可调，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；

磁控靶：直径2英寸2只（可升级成3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；

溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任??；

质量流量计：10sccm、50sccm质量流量控制器各1套；

膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；

控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；

整机尺寸：L60cm?W60cm?H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。