洁净棚的洁净度往往受到气流的影响,换而言之,即人、机器设备、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配?!〗嗑慌锔菥换燃兜囊?/span>HEPA过滤器、ULPA超空气过滤器过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,以满足净化空气的要求。
洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度在0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以zui适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果?!×硪环矫嬗锏浇嗑皇医嗑欢戎榷ㄐЧ?,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间?!∮跋煲蛩亍∮跋旖嗑慌锏钠饕蛩睾芏啵缰瞥躺璞?、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度在0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以zui适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果?!×硪环矫嬗锏浇嗑皇医嗑欢戎榷ㄐЧ?,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间?!∮跋煲蛩亍∮跋旖嗑慌锏钠饕蛩睾芏啵缰瞥躺璞?、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
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