随着半导体封装技术向微型化、高密度方向发展，晶圆级封装(Wafer Level Packaging, WLP)已成为先进封装技术的重要代表。硅基WLP封装因其优异的电气性能、小型化优势和高可靠性，在移动设备、物联网和人工智能等领域得到广泛应用。然而，在复杂的使用环境和严苛的可靠性要求下，WLP封装界面容易出现开裂、分层等失效问题，严重影响产品可靠性。

科准测控团队针对这一技术挑战，采用Alpha W260推拉力测试机开展系统性失效分析研究。本文将从测试原理、行业标准、仪器特点和操作流程等方面，全面介绍硅基WLP封装的机械可靠性评估方法，为封装工艺优化和质量控制提供科学依据，助力半导体封装行业提升产品良率和可靠性水平。

一、测试原理

硅基WLP封装失效分析的核心在于评估其内部互连结构的机械强度，主要包括焊球剪切力和焊点拉脱力两个关键指标：

1、剪切测试原理

通过精密控制的剪切工具对焊球施加平行于基板方向的力

测量焊球与基板或芯片间界面剥离所需的峰值力

记录力-位移曲线，分析失效模式和强度特征

2、拉脱测试原理

使用专用夹具垂直拉伸焊球或凸块

测量界面分离时的最大拉力

分析断裂面位置判断失效机理（界面断裂或内聚断裂）

3、失效模式判别：

界面失效：发生在金属与钝化层或UBM层界面

内聚失效：发生在焊料内部或IMC层内部

混合失效：多种失效模式同时存在

二、测试标准

硅基WLP封装推拉力测试遵循以下主要国际标准：

1、JESD22-B117A

焊球剪切测试标准方法

规定测试速度、工具几何尺寸等关键参数

定义剪切高度一般为焊球高度的25%

2、JESD22-B109

焊球拉脱测试标准

规范夹具设计、粘接方法和测试条件

3、MIL-STD-883 Method 2019.7

微电子器件键合强度测试方法

包含剪切和拉脱两种测试程序

4、IPC/JEDEC-9704

晶圆级封装可靠性表征标准

特别针对WLP封装的机械可靠性评估

三、测试仪器

1、Alpha W260推拉力测试机

Alpha W260推拉力测试机是专为微电子封装可靠性测试设计的高精度设备，特别适合红外探测器芯片的测试需求：

1、设备特点

高精度：全量程采用自主研发的高精度数据采集系统，确保测试数据的准确性。

功能性：支持多种测试模式，如晶片推力测试、金球推力测试、金线拉力测试以及剪切力测试等。

操作便捷：配备专用软件，操作简单，支持多种数据输出格式，能够wan美匹配工厂的SPC网络系统。

2、多功能测试能力

支持拉力/剪切/推力测试

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3、智能化操作

自动数据采集

SPC统计分析

一键报告生成

4、安全可靠设计

独立安全限位

自动模组识别

防误撞保护

5、夹具系统

多种规格的剪切工具（适用于不同尺寸焊球）

钩型拉力夹具

定制化夹具解决方案

2、KZ-68SC-05XY万能材料试验机

搭配定制夹具，进行焊球垂直拉拔测试

四、测试流程

1. 样品准备阶段

样品固定：使用真空吸附或专用夹具将样品固定在测试平台

光学对位：通过显微镜观察系统定位待测焊球

高度测量：采用激光或光学方式测量焊球高度

2. 剪切测试流程

设置剪切工具与基板间距（通常为焊球高度的25%）

设定测试速度（通常为100-500μm/s）

选择剪切方向（通常平行于芯片边缘）

执行剪切测试，记录峰值力和位移曲线

采集失效后图像，分析断裂面特征

3. 拉脱测试流程

（示意图）

选择合适的上拉夹具（钩状或粘接型）

定位夹具与焊球中心对准

设定拉伸速度和最大行程

执行拉脱测试，记录最大拉力

检查断裂面，判断失效位置

4. 数据分析阶段

统计处理测试数据，计算平均值和标准差

分析力-位移曲线特征

分类统计失效模式比例

生成测试报告，包括：

原始测试数据

统计结果

典型失效图片

工艺改进建议

五、应用案例

某300mm硅基WLP产品在可靠性测试中出现早期失效，采用Alpha W260进行系统分析：

1、问题现象

温度循环测试后部分器件功能失效

初步怀疑焊球界面可靠性问题

2、分析过程

选取正常和失效区域样品各20个

进行剪切力测试（参数：剪切高度30μm，速度200μm/s）

结果显示失效区域平均剪切力下降约35%

断裂面分析显示界面失效比例从15%增至65%

3、根本原因

UBM(Under Bump Metallization)层厚度不均

电镀工艺波动导致局部结合力不足

4、改进措施

优化UBM电镀工艺参数

增加过程监控点

改进后测试显示剪切力一致性提高40%

以上就是小编介绍的有关于硅基WLP封装失效分析的相关内容了，希望可以给大家带来帮助。如果您还对硅基WLP封装失效分析方法、测试报告和测试项目，推拉力测试机怎么使用视频和图解，使用步骤及注意事项、作业指导书，原理、怎么校准和使用方法视频，推拉力测试仪操作规范、使用方法和测试视频，焊接强度测试仪使用方法和键合拉力测试仪等问题感兴趣，欢迎关注我们，也可以给我们私信和留言?！究谱疾饪亍啃”嘟中蠹曳窒硗评Σ馐曰陲绯氐缱琛⒕г?、硅晶片、IC半导体、BGA元件焊点、ALMP封装、微电子封装、LED封装、TO封装等领域应用中可能遇到的问题及解决方案。