设备定义与核心功能
气氛烧结炉是通过精确控制温度、气氛环境(如惰性气体、还原性气体或真空)与压力参数,实现材料在特定气体环境下完成烧结工艺的专用设备。其核心功能包括:
气氛控制:支持氮气、氩气、氢气、氧气等单一或混合气体环境,氧浓度控制精度可达±0.1vol%,满足材料还原、氧化、硫化等处理需求。
温度控制:采用PID智能温控算法与多段程序控温技术,温度均匀性±10℃,支持0-20℃/min连续可调的升温速率。
压力调节:极限真空度优于6×10?3Pa,正压稳定性±0.2kPa,有效防止外部空气渗入。
材料适应性:可处理金属粉末、陶瓷、硬质合金、生物陶瓷、人工晶体等材料,支持烧结、熔炼、热处理等多种工艺。
二、技术参数与性能指标
参数类别典型值应用场景
最高工作温度1750℃(部分型号可达2000℃)高温合金、陶瓷烧结
炉膛容积2L-200L(系列化规格)实验室小试到工业量产
加热元件硅碳棒、硅钼棒、感应加热系统不同温度段需求
温控精度±1℃(均匀性±5℃)精密材料制备
气氛纯度控制≤0.5ppm误差半导体材料、光学玻璃烧结
冷却系统双回路风冷+水冷快速降温至300℃(缩短40%时间)
电气配置220V/380V双电压,最大功率24kW适应不同实验室条件
三、典型应用场景
靶材制备
案例:ITO透明导电薄膜烧结
工艺:采用变频高压技术,在氮气?;は率迪指咧旅芑战幔吠腹饴省?0%,方阻≤10Ω/□。
优势:气氛控制避免氧化,均匀性提升15%,晶粒尺寸可控。
航空航天材料
案例:高温合金梯度冷却处理
工艺:三段式淬火结构,结合氩气保护,实现从1200℃到室温的分级冷却。
效果:晶粒尺寸均匀性提升15%,抗疲劳性能提高20%。
电子陶瓷元件
案例:氮化铝陶瓷基板烧结
工艺:氮气?;は?800℃烧结,保温4小时。
结果:产品击穿电压≥20kV/mm,热导率≥170W/(m·K)。
新能源材料
案例:锂离子电池正极材料预烧
工艺:氧气气氛下750℃烧结,控制氧分压避免Li挥发。
优势:容量保持率提升8%,循环寿命延长30%。
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