日本LINTEC（琳得科）汽化器 的典型型号及技术介绍，适用于半导体、电子封装等领域的精密涂布工艺：

1. 核心型号及特点

(1) 标准型汽化器

型号：VEC-2000

• 用途：液态材料（光刻胶、溶剂）的汽化沉积

• 技术参数：

• 汽化温度范围：50~300℃（±0.5℃控温）

• 最大流量：2000cc/min

• 适用材料粘度：1-1000cP

• 优势：
  ? 均匀汽化，膜厚偏差＜±3%
  ? 模块化设计，支持快速换料

(2) 高精度型

型号：VEC-3000P

• 用途：半导体晶圆级封装（如PI胶、SiO?前驱体）

• 技术参数：

• 汽化精度：±0.1mg/min

• 支持惰性气体保护（N?/Ar）

• 集成式过滤器（防颗粒污染）

• 优势：
  ? 适用于高纯度工艺（Class 100洁净环境）
  ? 符合SEMI标准

2. 行业应用

3. 技术优势

• 无气泡汽化：专的利涡流加热技术，避免材料分解

• 智能控制：触摸屏设定参数，自动记录工艺数据

• 安全设计：过温/过压?；ぃü鼵E/JIS认证

4. 选型建议

• 基础工艺：VEC-2000（性价比高）

• 高纯环境：VEC-3000P（超低颗粒释放）