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电子厂超纯水制备除硼树脂的核心特性

来源:科海思(北京)科技有限公司湖北分公司   2025年07月28日 13:56  

除硼树脂的核心特性与除硼机理介绍

 

高选择性吸附

   官能团设计:基于 胺聚羟基(Poly hydroxy amine) 官能团,通过多羟基与硼酸根离子形成稳定的五元/六元环状络合物,实现硼的特异性吸附,不受常见离子(如Na?、Ca2?、SO?2?等)干扰。

PH依赖性:较佳吸附pH为 碱性环境(pH>9),此时硼以B(OH)??形式存在,络合效率高;酸性条件(pH<7)则利于再生时解吸。

 

性能参数

参数数值说明
平衡硼吸附容量5.7 meq/mL(约62 mg/mL)显著高于普通树脂15
工作温度上限80℃适用高温工况
粒径范围0.3–1.2 mm保证水流阻力与接触效率
出水硼浓度可降至5 ppt(ng/L)级别满足半导体超纯水要求46

二、应用场景与典型案例

 

半导体超纯水制备

必要性:硼会改变硅晶体的电学性质,干扰芯片掺杂工艺,导致阈值电压漂移和良率下降4。

案例:某芯片厂采用 "RO→除硼树脂柱→EDI→抛光混床" 工艺,将原水硼浓度从440 ppt降至5 ppt。

核电站冷却水处理

用于维持硼浓度低于0.1 ppm,防止硼酸沉积影响反应堆安全运行。

其他领域

海水淡化:深度脱硼保障饮用水合规(欧盟标准≤1 mg/L)。

盐湖提锂:去除卤水中硼杂质,提升锂盐纯度。


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三、关键操作注意事项

 

系统设计与运行控制


位置安排:建议置于RO系统后、EDI或混床前,以便调节pH至碱性(通常加NaOH至pH 9.5–10.5)。

流速控制:较佳空床接触时间(EBCT)对应流速≤20 BV/h,避免穿透。

再生与维护

再生剂:4% HCl或H?SO?溶液,酸性条件破坏硼络合物。

再生步骤:酸洗→慢冲洗→碱转型(恢复OH?型)→终冲洗,需清除残留再生剂。

寿命管理:定期监测出水硼泄漏,典型使用寿命2–3年,受进水有机物/悬浮物影响。


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四、对比优势总结

优势实际价值
抗离子干扰高盐水中仍保持高效吸附(如海水、卤水)
经济性可再生重复使用,降低长期成本
环保性物理吸附替代化学沉淀,减少二次污染









电子厂超纯水制备除硼树脂的核心特性

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