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氣體質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備，其核心原理基于熱傳導或壓差測量技術。熱式MFC通過加熱元件與溫度傳感器組合實現(xiàn)流量檢測：氣體流經(jīng)傳感器時帶走熱量，導致上下游溫度傳感器產生溫差，該溫差與氣體質量流量成正比，控制器通過調節(jié)加熱功率維持溫差恒定，進而實現(xiàn)流量閉環(huán)控制。壓差式MFC則利用層流元件將氣體轉化為規(guī)則層流，通過測量節(jié)流裝置前后的壓力差計算體積流量，并結合溫度、壓力傳感器數(shù)據(jù)換算為標準狀況下的質量流量。
MFC的關鍵性能指標直接影響其應用效果：
精度與穩(wěn)定性：頂級MFC需在全量程范圍內保持±0.3%F.S.（滿量程）甚至更高精度，并通過多參數(shù)補償算法抑制溫度、壓力波動導致的零點漂移，確保長期運行的工藝重復性。
響應速度：以毫秒級（T90<1秒）響應動態(tài)流量變化為核心，滿足半導體刻蝕、燃料電池測試等高頻切換場景需求。
量程比：寬量程比（如100:1）可覆蓋微小流量至大流量需求，簡化系統(tǒng)設計并降低設備成本。
介質兼容性：采用316L不銹鋼流道、特殊合金密封及抗腐蝕鈍化處理，兼容高純氣體、腐蝕性氣體（如Cl?、WF?）及易燃易爆氣體（如H?、SiH?）。
控制性能：內置自適應PID算法實現(xiàn)快速、平穩(wěn)、無超調的流量調節(jié)，確保流量突變后迅速恢復穩(wěn)定。
此外，MFC的零點穩(wěn)定性、平均時間（MTBF）及數(shù)字通信能力（如RS485/Modbus、EtherCAT）也是評估其性能的重要維度。
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