設(shè)計(jì)用途

能量色散型X射線熒光鍍層測(cè)厚及材料分析儀（EDXPF），

用于測(cè)定超薄鍍層和溶液分析。

元素范圍

從元素氯（17）到鈾（92）

配有可選的WinFTM®BASIC軟件時(shí)，多時(shí)可同時(shí)測(cè)定24種元素

設(shè)計(jì)理念

臺(tái)式儀器，測(cè)量門向上開(kāi)啟

測(cè)量方向

由上往下

X射線源

X射線管

帶鈹窗口的鎢管

高壓

三檔：30KV，40KV，50KV

孔徑（準(zhǔn)直器）

φ0.3mm 可選：φ0.1mm；φ0.2mm；長(zhǎng)方形0.3mm x 0.05mm

測(cè)量點(diǎn)尺寸

取決于測(cè)量距離及使用的準(zhǔn)直器大小

實(shí)際的測(cè)量點(diǎn)大小與視頻窗口中顯示的一致

較小的測(cè)量點(diǎn)大小約φ0.2mm

X射線探測(cè)

X射線接收器

比例接收器

測(cè)量距離

0~80mm，使用專有保護(hù)的DCM測(cè)量距離補(bǔ)償法

樣品定位

視頻系統(tǒng)

高分辨率CCD彩色攝像頭，沿著初級(jí)X射線光束方向觀察測(cè)量位置

手動(dòng)聚焦，對(duì)被測(cè)位置進(jìn)行監(jiān)控

十字線（帶有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸）

可調(diào)節(jié)亮度的LED照明，激光光點(diǎn)用于準(zhǔn)確定位樣品

放大倍數(shù)

40x~160x

電器參數(shù)

電源要求

200V，50Hz

功率

很大120W（不包括計(jì)算機(jī)）

保護(hù)等級(jí)

IP40

尺寸規(guī)格

外部尺寸

寬x深x高（mm）：570x760x650

內(nèi)部測(cè)量室尺寸

寬x深x高（mm）：460x495x（參考“樣品較大高度”部分的說(shuō)明）

重量

107KG

環(huán)境要求

使用時(shí)溫度

10℃~40℃

存儲(chǔ)或運(yùn)輸時(shí)溫度

0℃~50℃

空氣相對(duì)濕度

≤95% 無(wú)結(jié)露

工作臺(tái)

設(shè)計(jì)

手動(dòng)X/Y平臺(tái)

X/Y平臺(tái)較大移動(dòng)范圍

92x150mm

可用樣品放置區(qū)域

420x450mm

Z軸

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

Z軸移動(dòng)范圍

140mm

樣品很大重量

20KG

樣品很大高度

140mm

激光（1級(jí)）定位點(diǎn)

有

計(jì)算單元

計(jì)算機(jī)

帶擴(kuò)展卡的Windows®計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

軟件

標(biāo)準(zhǔn)：WinFTM®V.6 LIGHT

可選：WinFTM®V.6 BASIC，PDM，SUPER

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

CE合格標(biāo)準(zhǔn)

EN 61010

型式許可

作為受保護(hù)的儀器

型式許可符合德國(guó)“Deutsche Rontgenverordnung-RoV”法規(guī)的規(guī)定