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三氟化氮監(jiān)測報警系統(tǒng)的安裝要求與維護校準(zhǔn)
NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時應(yīng)十分謹(jǐn)慎。
三氟化氮（NF?）監(jiān)測報警系統(tǒng)是專用于檢測NF?氣體濃度并實現(xiàn)安全聯(lián)鎖控制的工業(yè)安全設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕工藝、光伏制造等場景。其核心由探測器、控制器及聯(lián)動模塊構(gòu)成。
工作環(huán)境：
溫度：
催化燃燒：-40~+70℃；
電化學(xué)：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；
紅外：-20~+50℃；
熒光法：-20~+50℃；
氧化鋯:-40℃~+700℃
壓力：86-110Kpa；（氧化鋯：≤0.6Mpa)
濕度：15%RH~95%RH（無凝露）
安裝要求：
探測高度：距地面0.3-1.5米（因NF?密度大于空氣）。
氣路連接：泵吸式采樣時，流量需穩(wěn)定在0.4-0.6L/min。
維護校準(zhǔn)：
每季度用標(biāo)準(zhǔn)氣體校準(zhǔn)，偏差＞±5%需調(diào)整。
電化學(xué)傳感器壽命約2年，NDIR傳感器壽命＞5年。
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