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1.1 定義
XRF通過測(cè)量樣品受X射線激發(fā)后發(fā)射的特征熒光X射線，實(shí)現(xiàn)元素成分定性與定量分析，適用于金屬、礦物、塑料等材料。
1.2 工作原理
激發(fā)源：X射線管（Rh靶）或放射性同位素（如Co-57）。
能量色散（EDXRF）：硅漂移探測(cè)器（SDD）分辨元素特征能量。
波長(zhǎng)色散（WDXRF）：分光晶體分離不同波長(zhǎng)，精度更高。
1.3 技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù) | 典型值 |
|---|---|
| 元素范圍 | Be（4）~ U（92） |
| 檢測(cè)限 | ppm級(jí)（重金屬元素） |
| 分析速度 | 10~300秒/樣品 |
| 樣品室尺寸 | 可容納直徑300 mm樣品 |
1.4 應(yīng)用場(chǎng)景
RoHS檢測(cè)：電子元件中Pb、Cd、Hg等有害元素篩查。
地質(zhì)勘探：礦石中金屬元素品位快速評(píng)估。
鍍層分析：測(cè)量電鍍層厚度（如Zn鍍層0~50 μm）。
1.5 選型指南
臺(tái)式 vs 便攜：實(shí)驗(yàn)室分析選臺(tái)式（如Shimadzu EDX-7000），現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)選手持式（如Olympus Vanta）。
真空系統(tǒng)：輕元素（Na、Mg）檢測(cè)需真空或氦氣環(huán)境。
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