一般情況下，樣品的厚度應不小于壓痕深度的 10 倍，以保證在測量過程中樣品能夠提供足夠的支撐，避免因樣品過薄而產(chǎn)生變形或穿透，影響測量結(jié)果的準確性。對于常見的顯微硬度測量，樣品厚度通常在 0.5 - 10 毫米之間較為合適。

樣品的平面尺寸需足夠大，以確保壓頭能夠在樣品表面合適的位置進行測量，且相鄰壓痕之間以及壓痕與樣品邊緣之間應保持一定的距離，一般不小于壓痕對角線長度的 2.5 倍，防止壓痕之間相互影響以及避免壓痕靠近樣品邊緣導致應力集中而影響測量結(jié)果。通常，樣品的平面尺寸不小于 10 毫米 ×10 毫米。

樣品表面應平整光滑，粗糙度一般要求在 Ra0.1 - 0.8 微米之間。粗糙的表面會使壓痕形狀不規(guī)則，導致測量誤差增大，同時也會影響光學系統(tǒng)對壓痕的清晰成像，不利于準確測量壓痕尺寸。

樣品表面不能有油污、氧化皮、污漬等雜質(zhì)，否則會影響壓頭與樣品的接觸，導致壓痕不完整或測量結(jié)果不準確。在測量前，需要對樣品表面進行清潔處理，可根據(jù)樣品的性質(zhì)選擇合適的清潔劑，如酒精、丙酮等進行擦拭。

樣品的材料成分和組織結(jié)構應盡可能均勻。不均勻的樣品會導致在不同位置測量時硬度值差異較大，無法得到準確可靠的測量結(jié)果。對于成分或組織不均勻的樣品，應在報告中注明，并盡可能在多個不同位置進行測量，以反映樣品硬度的分布情況。

樣品應具有足夠的穩(wěn)定性，在測量過程中不會因外力、溫度變化等因素而發(fā)生變形、開裂或其他物理化學變化。對于一些軟質(zhì)材料或容易受環(huán)境影響的材料，可能需要采取特殊的固定或保護措施，如使用夾具固定樣品，或在測量前將樣品在特定的環(huán)境中進行預處理，以保證測量的順利進行和結(jié)果的準確性。