氣體質量計（Gas Mass Flow Meter）是一種用于測量氣體質量流量的儀器，廣泛應用于工業(yè)過程控制、實驗室研究、環(huán)境監(jiān)測等領域。以下是關于氣體質量計的詳細介紹：

1. 氣體質量計的類型

根據(jù)測量原理，常見的氣體質量計包括：

熱式質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）

原理：基于氣體流過熱傳感器時的冷卻效應測量流量。

特點：無需溫壓補償，直接測量質量流量，適合潔凈氣體（如空氣、氮氣、氧氣等）。

應用：半導體、生物反應器、燃燒控制等。

科里奧利質量流量計（Coriolis Mass Flow Meter）

原理：利用科里奧利力效應，通過振動管中氣體流動導致的相位差測量流量。

特點：可同時測量質量流量、密度和溫度，精度高，但成本較高。

應用：化工、石油、天然氣行業(yè)的高精度測量。

差壓式流量計（DP Flow Meter）

原理：通過節(jié)流裝置（如孔板、文丘里管）產(chǎn)生的壓差間接計算流量。

特點：需配合溫壓補償才能得到質量流量，適合高壓或高溫氣體。

應用：蒸汽、壓縮空氣流量監(jiān)測。

超聲波流量計（Ultrasonic Flow Meter）

原理：利用超聲波在氣體中順流和逆流的傳播時間差計算流速。

特點：非接觸式測量，適用于大管徑或腐蝕性氣體。

2. 關鍵參數(shù)

選擇氣體質量計時需考慮以下參數(shù)：

測量范圍（量程）：確保覆蓋實際流量需求。

精度：通常為±1%~±2.5%，高精度型號可達±0.5%。

氣體兼容性：儀表材質需適應氣體特性（如腐蝕性、濕度）。

輸出信號：4-20mA、RS485、脈沖輸出等。

壓力與溫度范圍：需匹配工況條件。

3. 應用場景

工業(yè)過程控制：如半導體制造中的工藝氣體流量監(jiān)控。

環(huán)保監(jiān)測：煙氣排放量測量（SO?、NO?等）。

實驗室：校準氣體分配系統(tǒng)或反應氣體流量控制。

能源管理：天然氣、壓縮空氣的能耗計量。

4. 選型建議

明確氣體類型：腐蝕性氣體需選用耐腐蝕材質（如哈氏合金）。

確定流量范圍：避免過大量程導致精度下降。

環(huán)境條件：高溫/高壓環(huán)境需選擇專用型號。

安裝要求：直管段長度、管道方向（熱式流量計對安裝方向敏感）。