手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
橢圓偏振儀作為現(xiàn)代材料表征的重要工具，通過光與物質(zhì)的相互作用，為薄膜厚度和光學常數(shù)的精確測量提供了特殊的解決方案。這種非破壞性測量技術能夠解析納米級薄膜的特性，在半導體、光學鍍膜和材料科學研究中發(fā)揮著關鍵作用。
橢圓偏振測量的核心原理基于偏振光與薄膜樣品相互作用后偏振狀態(tài)的改變。當一束已知偏振狀態(tài)的單色光以特定角度入射到樣品表面時，會經(jīng)歷反射和折射過程。薄膜-基底系統(tǒng)的多層結構會改變光的振幅和相位，這種改變可以通過橢偏參數(shù)Ψ和Δ來量化描述。
現(xiàn)代橢圓偏振儀采用旋轉分析器或光彈性調(diào)制器設計，能夠精確測量反射光的偏振狀態(tài)變化。儀器通常配備自動角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以在多個入射角度下進行測量，提高數(shù)據(jù)可靠性。對于透明和半透明薄膜，橢偏儀可以同時測定厚度和折射率，精度分別達到0.1nm和0.001。
數(shù)據(jù)分析是橢圓偏振測量的關鍵環(huán)節(jié)。通過建立適當?shù)墓鈱W模型，將實驗測得的橢偏參數(shù)與理論計算值進行擬合，可以反演出薄膜的厚度和光學常數(shù)。現(xiàn)代橢偏儀配備先進的建模軟件，能夠處理多層膜系、各向異性材料等復雜情況。對于吸收性薄膜，還可以獲得消光系數(shù)等光學常數(shù)。
橢圓偏振技術的應用范圍不斷擴展。在半導體工業(yè)中，用于監(jiān)測氧化層厚度和工藝質(zhì)量；在光學鍍膜領域，用于優(yōu)化膜系設計；在生物傳感研究中，用于實時監(jiān)測分子吸附過程。隨著技術的發(fā)展，橢偏儀正朝著快速測量、寬光譜范圍和顯微成像等方向發(fā)展，為材料科學研究提供更強大的表征工具。
相關產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心