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氣相色譜儀在電子特氣純度分析中發(fā)揮重要作用,分析%含量到 ppm 級(jí)別雜質(zhì)可選擇 TCD 檢測(cè)器、FID檢測(cè)器加甲烷轉(zhuǎn)化爐的方案進(jìn)行分析，而對(duì)于ppb 到 ppm 級(jí)別的痕量物質(zhì)分析普瑞GC-9280氣相色譜儀配有專用的 PDHID檢測(cè)器實(shí)現(xiàn)痕量、常量雜質(zhì)的全面檢測(cè)。
儀器配置:
兩閥三柱 PDHID 檢測(cè)器
樣品信息:
H2,N2,CH4,CO
檢測(cè)下限:
N2 檢測(cè)下限 5ppm,其余為0.1ppm
對(duì)垂應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)方法:
GB/T 14599-2008:GB/T14604-2009
控制方式:
空氣驅(qū)動(dòng)閥&電動(dòng)驅(qū)動(dòng)閥
典型譜圖
特征和優(yōu)勢(shì)
u 15min 內(nèi)完成高純氣體分析
u 中心切割技術(shù)，放空大量高純氣體，檢測(cè)微量氣體雜質(zhì)
u 反吹技術(shù)，放空CO2,H20，避免色譜柱被破壞
u 壓力控制器(APC)確保樣品重現(xiàn)性良好
u Lab-solution 采用“一體化數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)模式”，對(duì)儀器、閥的控制、數(shù)據(jù)采集、處理更加簡單
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