亚洲精品综合日韩中文字幕网站_精品综合久久久久97_中文在线天堂网www_久久精品免费一区二区三区_91久久国产综合精品女同国语_久久资源总站在线国产成人

产品推荐:气相|液相|光谱|质谱|电化学|元素分析|水分测定仪|样品前处理|试验机|培养箱


化工仪器网>技术中心>其他文章>正文

欢迎联系我

有什么可以帮您? 在线咨询

SHINKO SEIKI神港--电弧丝式离子镀装置(AF-IP装置)

来源:池田屋实业(深圳)有限公司   2024年10月31日 11:33  

SHINKO SEIKI神港--电弧丝式离子镀装置(AF-IP装置)


这是一种新型离子镀设备,利用PVD实现了过去只能利用CVD才能实现商业化的膜类型(厚氧化膜、碳化膜等) 。


“电弧灯丝型离子镀装置”通过蒸发粒子与蒸发源上的热电子碰撞,有效地使蒸发粒子离子化。此外,
通过引入的气体与电离的蒸发颗粒之间的反应,
可以形成各种致密且高粘附性的反应膜(氮化物膜、氧化物膜、碳化物膜、碳氮化物膜) 。


现在可以形成厚的氧化膜,这对于传统的电弧放电离子镀设备来说是困难的。可以使用电弧丝型离子镀设备形成的新型PVD薄膜预计将用于
精密模具和半导体制造设备零件等许多应用。

对应膜种类
氧化膜 氧化钇 (Y2O3) *新开发膜
    氧化铝 (Al2O3) *新开发膜
碳化物膜 SiC *新开发膜
氮化物膜 TiN
    CrN
其他各种金属及反应膜

免责声明

  • 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
桓台县| 保靖县| 宜宾市| 桃江县| 远安县| 宣城市| 长宁区| 新津县| 南京市| 平利县| 绍兴市| 六枝特区| 太谷县| 读书| 张家界市| 红原县| 象山县| 佛山市| 平远县| 宜阳县| 泰和县| 富宁县| 禹州市| 全椒县| 合阳县| 南皮县| 满洲里市| 荔波县| 鄄城县| 鸡西市| 攀枝花市| 沂水县| 赤水市| 高要市| 阜南县| 柘荣县| 甘南县| 屯昌县| 江陵县| 纳雍县| 广丰县|