产品特点/功能
只需将样品插入探头之间即可测量的简单测量仪器
在电阻率和方块电阻测量模式之间轻松切换
通过 JOG 旋钮进行简单的测量条件设置
测量目标
半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等)
导电薄膜相关(金属、ITO等)
化合物半导体相关(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)
目标尺寸
约 8 英寸或约 156 x 156 毫米
测量范围
[电阻率] 1m 至 200Ω cm
(*所有探头类型的总范围/厚度 500um)
[表面电阻] 10m 至 3kΩ/sq
(*所有探头类型的总范围)
产品尺寸
W220×D325×H210mm
约6.5kg
1点1点测量 非接触式非接触式
操作指南:通过 JOG 旋钮进行简单的测量条件设置
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