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一、背景介紹：
1.分辨率方面，一是可以通過原子力顯微鏡(AFM)或掃描近場顯微鏡(SNOM)等近場技術來提高，二是可以通過使用短波長光源來提高，三是可以通過非線性吸收實現(xiàn)超分辨率成像或制造。
2.制造速度方面，除了工程學方法外，隨著激光技術的發(fā)展，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度。
3.并行激光加工技術可以將二維加工技術擴展到三維加工，為未來微納加工技術的發(fā)展提供新的方向；同時可以地廣泛應用于傳感、太陽能電池和超材料領域的表面處理和功能器件制造，對生物醫(yī)學器件制造、光通信、傳感、以及光譜學等領域得發(fā)展研究具有重要意義。
二、特點與注意事項：
1.由于近場效應，接觸模式可以實現(xiàn)光學超分辨率；二是與傳統(tǒng)的基于AFM/SNOM“筆尖”的近場直接書寫方法相比，不僅可以顯著提高制造速，同時還避免了“筆尖”的磨損。
2.大多數(shù)情況下微球體的分布過程不受控制，因此在大規(guī)模生產中仍然面臨許多挑戰(zhàn)；二在大面積制造中不能避免缺陷，導致該技術僅于科學研究而不是工業(yè)生產。
三、區(qū)別與聯(lián)系：
1.金屬及半導體材料的表面微加工，表面微加工就是在材料的表面進行微納米級線、孔和凹槽的制備，對加工具有較高的技術要求。而飛秒激光加工技術則是開展表面微加工的有效工具。在理想的表面微加工狀態(tài)下，應該保持材料外部的最小損傷。
2.光聚合材料的內部三維成型，光聚合材料具備光敏化學作用。在光聚合材料的內部，運用飛秒激光加工技術可以實現(xiàn)較高分辨率的三維加工，主要原理就是產生了雙光子聚合現(xiàn)象。對飛秒激光進行聚焦，產生雙光子吸收效應，作用于光聚合物材料的內部產生固化現(xiàn)象，制備出三維的微結構。
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