超精密氣浮臺是基于靜態(tài)氣動軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺座外殼對應的負形連接。定子采用內節(jié)流原理安裝，氣動分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉子定子與轉子在定壓和負載下沒有接觸?？捎糜趫A度測量系統(tǒng)、中心偏差測量系統(tǒng)和粗糙度測量系統(tǒng)。

超精密氣浮臺基本特性

載重能力強，重復精度高；無限的使用壽命；無塵室應用環(huán)境；不滑行動作；不磨損，不調整。

技術指標：

轉動精確度(徑向和軸向跳動)。玻璃纖維編碼器：相對定位精度。有兩個版本的空氣軸承轉盤：轉盤，有角編碼器，連轉盤旋轉均勻，無角度位置控制。

可以根據(jù)應用程序使用其他驅動器：

帶子傳動采用DC高精度齒輪裝置，高精度定位，轉速每分鐘可達3轉；DC驅動，DC驅動采用DC無刷力矩電機，轉速在0.2-200rpm之間；全部轉盤都是水平或垂直的。該設備配置精密地支撐板和帶有螺紋孔的螺紋孔來夾住螺母或T型槽(可供選擇)。

選擇：

平傾調節(jié)裝置；吸附器；電子旋轉控制裝置；

高分辨角編碼器；

巖石基礎，帶有減震元件，

氣體過濾器系統(tǒng)

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