无尘室(洁净室)是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。也是不论外在的空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
根据无尘室(洁净室)洁净度的不同又将其划分为几个级别
无尘室空气净化等级
车间洁净度级别 | ≥0.5μm尘粒的最大允许数/立方米 | ≥5μm的最大尘粒数/立方米 | 浮游菌/立方米 |
30万级 | 1050万 | 6万 | 1000 |
10万级 | 350万 | 6万 | 1000 |
1万级 | 35万 | 2000 | 100 |
100级 | 3500 | 0 | 5 |
*此表仅供参考
一般来说,无尘室(洁净室)里有等级,在各种工艺操作时,应根据各工艺的不同要求采用不同的空气洁净度等级,并根据工艺要求确定等级。清洁度检测实验室根据客户检测要求,可以建设万级以上的无尘室。实验室设计有更衣、风淋、和缓冲等实验前的准备工作。采用人流、物流分开原则,以减少实验污染,保证安全。洁净实验室回风与室外新风混合后,经过初、中、高效过滤器三级过滤后送入洁净室内。
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