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在许多研究和生产过程中，重要的变量是质量而不是体积，因为体积流量可能比温度或压力变化对固定体积气体密度的影响要好，所以体积流量测量的结果不如质量流量可靠。所以说热式质量流量计的测量结果很可靠。
热式质量流量计不受入口流量温度和压力波动的影响。质量流量计可以直接测量质量流量。大多数其他测量体积流量的方法需要单独测量温度和压力来计算密度并最终计算质量流量。质量流量计在分子水平上测量流量，因此可以为过程提供高精度、高重复性和可靠的气体输送。
实际上，热式质量流量控制器是组合式集成流量计或外部控制阀。这些紧凑型仪器用于必须精确控制气体的应用。质量流量控制器不断将输出信号与来自电压、电流或数字（现场总线）源的设定点信号进行比较。设定点信号和测量信号之间的任何偏差都将转换为电磁控制阀的调整，直到两个信号相同。控制功能（PID，比例积分微分）通常是流量计电子设备的标准部分。同时可通过用户软件调整控制特性，实现快速或稳定控制。根据应用，您可以选择用于高或低（差压）压力和从小到大流量的比例电磁控制阀。
通过集成额外的智能，热式质量流量计和控制器技术仍在改进。多气体/多范围或诊断功能也不例外，热式气体质量流量控制器系列，拥有包含约100种气体物理性质的气体数据库，仪器可自动补偿入口压力的变化。
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