(1)型号规格:ENC -654
- 测量范围:X=500mm,Y=600mm,Z=400mm
- 空间测量示值误差:E≤3.5+L/250µm
- 分辨率:0.5µm
- 大移动速度:430mm/s
- 大承受重量:300kg
- 主机重量:550kg
- 主机外型尺寸:1020mm×946mm×2200mm
( 2)*控制系统
3)精密过滤器
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