真空等级
在密闭的空间中,空气被抽出成为无空气
的空间。气室内的空气减少,气压下降,
产生真空。封闭空间中的空气量越少,气
压越低,真空度越高。真空度分为四级。
高于1 mbar的气压为低真空度。低于该气
压时,为中等真空度。低于0.001 mbar为
高真空度,达到或低于0.000 000•1•mbar
为超高真空度。
真空应用
真空需要一个密闭的空间不存在任何空气,
因此也不存在任何悬浮颗粒,不允许任
何“异物”存在。有时需要在真空中测量
尺寸,例如需要检查亚微米级的超精细结
构或需要切分和检查颗粒。直线光栅尺和
角度编码器在真空中的常见应用包括电子
显微镜、机械手、多路执行器、XY工作
台、电子束显微镜,半导体工业的圆晶检
查或测量同步加速器辐射的光谱仪轴。
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