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高純氣體分析1(5ppm雜質(zhì))

      發(fā)布時間:2023-07-07
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進樣方式:閥進樣

檢測器:HTCD

出峰順序:1、空氣;2、CF4;3、CO2;4、SF6

適用性:適用于高純電子工業(yè)氣體中微量雜質(zhì)的在線分析



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