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    在使用ICP-MS 分析高純試劑及樣品的半導(dǎo)體領(lǐng)域，硝酸中存在的氮（Nitrogen）、氧（Oxygen）及碳（Carbon）成分，對這些元素的超痕量檢測構(gòu)成了嚴(yán)重的干擾，近年來對 ICP-MS 就此類元素的分析能力的要求也在不斷提高。驗(yàn)證檢測硝酸基體中此類非金屬元素的檢測能力是非常重要且迫在眉睫的課題。

 

    本應(yīng)用的目的是利用硝酸介質(zhì)，了解NexION 2000S對此前 ICP-MS 系統(tǒng)不太好測量的非金屬元素，即磷（Phosphorous）、硫（Sulfur）、硅（Silicon）、氯（Chlorine）的檢測能力。