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INCA Crystal电子背散射衍射系统(EBSD)是显微分析领域活力和前景的亚微米级显微分析技术手段。它作为扫描电镜上的一个附件，集显微结构,显微织构，相鉴定等多种功能于一身，开辟了一个全新的科学领域：INCA Crystal 覆盖了TEM 和 XRD 的部分研究范围，更重要的是，可以进行许多 TEM 和 XRD 所不能完成的研究工作。     

目前，INCA Cystal 刚刚完成了硬件和软件的全面升级，其性能和功能全面超过了任何一家EBSD，真正做到了人无我有、人有我优。

应用：
电子背散射分析 (EBSD) 是在扫描电镜（SEM）条件下分析样品晶体结构的一种分析手段。

EBSD 的主要用途包括

• 大专院校和研究机构中的材料科学和冶金学研究
• 半导体行业的研究和制造
• 钢铁制造和处理
• 铝制品的生产和处理
• 陶瓷业
• 电子业
• 汽车行业
• 太空技术和国防行业
• 能源业
• 核技术

在过去的十几年中，EBSD已经成为扫描电镜测量中的一种成熟手段，从样品中获取将提信息已经变得简单易行。牛津仪器自从EBSD技术投入市场以来，一直致力于该技术的发展与研制。