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目录:牛津仪器(上海)有限公司>>RIE Etching>> PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE
  • PlasmaPro 800 RIE
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更新时间：2022-11-30 17:51:41浏览次数：216评价

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PlasmaPro 800系列是结构紧凑、且使用方便的直开式系统，该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻（RIE）工艺提供了灵活的解决方案。大尺寸的晶圆平台能够处理量产级别的批量以及300mm晶圆的工艺。 询价 增加到询价列表 在询价列表中查看此产品

PlasmaPro 800具有460mm直径的工作台，拥有处理整片的300mm晶圆或批量43 x 50mm（2”）晶圆的能力， 可提供全套量产解决方案。PlasmaPro 800是的市场前列产品。

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