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FAAS 8000 ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法，實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題；可應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質(zhì)（MA）、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測。

FAAS 8000 ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)性能優(yōu)勢

數(shù)據(jù)可靠

系統(tǒng)實現(xiàn)了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質(zhì)量控制、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化。

避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準確可靠。

靈敏度高

大體積進樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統(tǒng)運行周期。

FAAS 8000ICS 測試部分陰陽離子的檢出限

監(jiān)測面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集；

系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測。

設(shè)計合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的控制要求。

吸收高效

在線雙吸收模塊設(shè)計，有利于節(jié)約樣品分析時間，數(shù)據(jù)輸出更快更高效！

應(yīng)用領(lǐng)域

FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。